Năm 1904: Nhà máy điện địa nhiệt hơi khô đầu tiên được xây dựng ở Laderello thuộc Tuscany, Ý. Nhà máy Larderello ngày nay cung cấp điện cho khoảng 1 triệu hộ gia đình.
Năm 1960: Các công cụ phát triển quy mô thương mại đầu tiên được đặt ở California tại The Geysers, 10MW thuộc sở hữu của Pacific Gas & Electric.
Năm 1970: Việc bơm lại nước địa nhiệt đã qua sử dụng trở lại bể chứa sản xuất đã được đưa vào như một cách để xử lý nước thải và để kéo dài tuổi thọ của hồ chứa.
Năm 1972: Cải tiến công nghệ khoan giếng sâu giúp việc khoan hồ chứa sâu hơn và tiếp cận nhiều tài nguyên hơn.
Năm 1974: Các nhà khoa học bắt đầu phát triển hồ chứa đá khô nóng (HDR) đầu tiên tại Fenton Hill, New Mexico. Một cơ sở điện HDR đã được thử nghiệm tại địa điểm này vào năm 1978 và bắt đầu tạo ra điện hai năm sau đó.
Năm 1982: Công suất phát điện địa nhiệt (thủy nhiệt), đạt mức cao mới là 1.000MW.
Năm 1991: Giếng thăm dò magma đầu tiên trên thế giới được khoan ở Dãy núi Sierra Nevada ở độ sâu 2.312m.
Năm 1995: Công suất địa nhiệt trên toàn thế giới đạt 6.000 megawatt.
Năm 2004: Chi phí năng lượng địa nhiệt giảm từ 0,10 – 0,16 USD mỗi kilowatt giờ xuống còn 0,5 – 0,8 USD mỗi kilowatt giờ.
